Главная/Участники/Зеленоградский нанотехнологический центр (АО «ЗНТЦ»)

Зеленоградский нанотехнологический центр (АО «ЗНТЦ»)

Зеленоградский нанотехнологический центр (АО «ЗНТЦ») Директор: Ковалев Анатолий Андреевич
Телефон: +7 (499) 720 6944, +7 (499) 720 6969
Эл. адрес: info@zntc.ru
Адрес: 124498, г. Москва, Зеленоград, Солнечная аллея, д. 6
URI сайта: http://www.zntc.ru

Общие сведения:

   АО "Зеленоградский нанотехнологический центр" -- одна из ведущих компаний, осуществляющая разработки и производство продукции в области микроэлектроники и микросистемной техники, оказывающая комплекс технологических услуг для компаний, а также услуги по бизнес-инкубированию и коммерциализации инноваций.

   АО "ЗНТЦ" осуществляет разработку и производство современной электронной компонентной базы. Специализацией АО "ЗНТЦ" является разработка и производство датчиков и сенсоров физических и химических величин для систем промышленной автоматики, авиационного и ракетно-космического приборостроения, энергетики и нефтегазовой промышленности, разработка интеллектуальных систем навигации и управления.

   Ключевая задача Зеленоградского нанотехнологического центра как элемента инновационной инфраструктуры -- обеспечение перехода научно-исследовательской работы в область конкретных рыночных внедрений. Для малых компаний предоставляются не только инвестиции и консалтинговые сервисы, но и предоставляется возможность проведения исследований с использований высокотехнологичного оборудования, изготовление опытных образцов, оказывается техническая поддержка, привлекаются индустриальные партнеры.

Исследования и разработки:

   

   Производственный комплекс позволяет разрабатывать и осваивать технологии создания новых групп изделий по требованиям заказчиков, в том числе технологий изготовления датчиков физических и химических величин. В настоящее время происходит разработка технологий создания элементной базы для высокотемпературной электроники с рабочим диапазоном минус 60 ÷ плюс 225 °С, а также обрабатываются технологии создания высокоинтегрированных систем на кристалле и многокристальных модулей сложно-функциональных устройств, с повышенной стойкостью к ВВФ.


Технологии:

   

   На сегодняшний день в АО «ЗНТЦ» создана современная инфраструктура, обеспечивающая полный цикл проектирования и производства микроэлектроники и микросистемной техники (с набором технологий КМОП, МЭМС, SoC), осуществляются корпусирование и испытания функциональных и электрических параметров изделий, что обеспечивает условия необходимые условия для изготовления изделий специального и двойного назначения. 
В кооперации с технологическими и инфраструктурными партнерами реализуется нескольких комплексных проектов, в том числе  проекты по 3D сборке многокристальных модулей и производству специальных, в том числе высокотемпературных и радиационно-стойких  СБИС для аппаратуры классов military и aero-space, что позволит создавать современную элементную базу, соответствующую возрастающим требованиям по увеличению быстродействия одновременно с миниатюризацией изделий.


Инфраструктура:

   Создана современная инфраструктура, обеспечивающая полный цикл проектирования СБИС, полный цикл кристального производства микроэлектроники, нано- и микро-системной техники (МЭМС, НЭМС, системы на кристалле), линия сборки и тестирования функциональных и электрических параметров изделий микроэлектроники. 

   Испытательный центр АО «ЗНТЦ» аккредитован на соответствие требованиям ГОСТ ИСО/МЭК 17025-2009 и РД В 319.006-97 на право проведения сертификационных испытаний электронной компонентной базы отечественного и иностранного производства в аккредитованной области. Для реализации проектов в области биотехнологий и медицины созданы современные лаборатории (биологическая, химическая и аналитическая). 
   В лабораториях создана специальная инфраструктура для работы с биологическими объектами и средами, производства изделий медицинского назначения. Кристальное производство обеспечивает мультитехнологические процессы производства КМОП интегральных микросхем с проектной нормой до 0.5 мкм (с переходом, в ближайшей перспективе, на проектную норму 0.35 мкм) на объёмном кремнии и КНИ - структурах, магниторезистивных датчиков магнитного поля, МЭМС и НЭМС датчиков акселерометров и гироскопов на кремниевых пластинах диаметром 150 мм с производительностью до 600 пластин в месяц. 
   Технологические возможности: проекционная фотолитография с минимальными размерами 0.5 – 0.35 мкм.; контактная фотолитография на пластинах Ø150 мм с возможностью двухстороннего совмещения и субмикронным разрешением при работе в режиме контакта; спреевая химическая обработка и обработка в объёме раствора полупроводников, диэлектриков и металлов; имплантация стандартных ионов в диапазоне энергий от 20 до 200 кэВ с возможностью имплантации двухзарядных ионов.. CVD и PECVD процессы нанесения плёнок SiO2, Si3N4, poly-Si.; атомно-слоевое осаждение диэлектрических и проводящих покрытий, быстрый отжиг для электрической активации имплантированной примеси и формирования силицида на поверхности активных Si- структур и ПКК; плазмохимические безуходное травление полупроводников, диэлектриков и металлов глубокого травления Si со скоростью до 15 мкм/мин.; Газофазное травление полупроводников и диэлектриков для удаления жертвенных слоёв в маршруте изготовления МЭМС; ионное травление металлических и неметаллических пленок

Продукция и услуги:

   АО «ЗНТЦ» оказывает технологические услуги  производства широкого спектра изделий специальной микроэлектроники:

-         Экспериментальное и мелкосерийное производство изделий микроэлектроники и микросистемной техники.

-         Сборка кристаллов микросхем и датчиков в корпуса, создание вертикально интегрированных многокристальных модулей сложных систем (3D сборка).

-         Контроль и измерение электрических и функциональных параметров.

-         Прототипирование изделий микроэлектроники и смежных областей, в том числе разработка изделий и изготовление приборов и изделий медицинского назначения.

-         Поддержка и развитие технологических проектов, трансфер технологий, привлечение стратегических партнеров и экспертов.


Услуги:
Испытательный комплекс
Сборочное производство
Кристальное производство

Продукция:
Магниторезистивный МЭМС-сенсор магнитного поля (МРС10Н… МРС15Н)
Магниторезистивный МЭМС -сенсор угла поворота (МРС20)
СБИС обработки мостовых датчиков 1913ВА015
БИС интегрального процессора положения К1382HM015 (ENC_ASIC3)
БИС однокристального магнитного энкодера положения К1382HM025 (ENC_ASIC2)
БИС датчика тока 1382НУ015
БИС датчика угла К1382НХ045
Интегральная микросхема датчика полярности сигнала 1382НХ034
ИС преобразователя емкость-напряжение 5201ТК015
СБИС 16-разрядного контроллера 1894ВЦ1У

Возврат к списку

X