Главная/Участники/Продукция участников/Установка плазмохимического травления Irida PE21

Установка плазмохимического травления Irida PE21

Установка плазмохимического травления Irida PE21 Производитель: РУ-ВЭМ
Контактное лицо: Суворов Михаил Викторович
Эл. адрес: info@ru-vem.ru
Телефон: (499) 710-60-00, (499) 710-60-11
URI сайта: www.ru-vem.ru

Назначение:

Установка Irida PE21 предназначена для плазмохимического травления подложек диаметром до 200мм.

Irida PE21 обеспечивает травление кремнийсодержащих слоев (оксиды, нитриды, поликремний, КНС, монокристаллический кремний), кварцевые подложки, пьезокварц со скоростями до 1 мкм/мин с хорошим качеством поверхности на глубину более 250 мкм.

Травление арсенида галлия, нитрида галлия, и других сложных полупроводников.

Травление алюминия, меди, золота, серебра, платины и многих других материалов ионным распылением

Благодаря тонкому разделительному кварцевому стеклу, электромагнитной резонансной системе и системе магнитной изоляции плазмы генератор плазмы спирального типа имеет высокий коэффициент преобразования энергии, что позволяет использовать ВЧ генератор относительно небольшой мощности и обеспечивает горение плазмы как на высоких, так и на низких давлениях.

Irida PE21 может использоваться как одиночная установка, оснащенная шлюзовым устройством с поштучной загрузкой подложек, так и в составе кластерного комплекса, содержащего до 4 технологических модулей и систему загрузки из кассеты в кассету.

Irida PE21 оснащена встроенными лифтами для верхней и нижней крышек рабочей камеры для удобства обслуживания.

Электрооборудование Irida PE21 полностью размещено на технологическом агрегате, что упрощает монтаж-демонтаж установки, повышает надежность и удобство размещения на предприятии.

Irida PE21

Установка плазмохимического травления с системой шлюзовой загрузки

Irida PE21K

Модуль плазмохимического травления для интеграции в кластерную установку

MAXIMA 2600

Четырехпортовая перегрузочная система с двумя кассетными станциями

Технические характеристики и функциональные параметры:

Потребляемая мощность:

3х380 V ± 5%, 32A/phase,

50 Hz/ 60 Hz, N, G

Сжатый воздух

6 кг/см2

Азот

2 кг/см2 25 литров на процесс

Охлаждающая вода

3-4 кг/см2, 12 л/мин

Выхлоп

DN 40 KF (рабочие газы) D 80 мм (газовый шкаф)


Возврат к списку

X