Главная/Участники/Продукция участников/Магна ТМ – 200 вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических слоёв

Магна ТМ – 200 вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических слоёв

Магна ТМ – 200 вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических слоёв Производитель: ОАО «НИИ ТМ»
Контактное лицо: Павлов Георгий Яковлевич
Эл. адрес: info@niitm.ru
Телефон: +7(495) 229-7501
URI сайта: http://www.niitm.ru/technology/infliction/magnetron/details/v/model/magna_tm_5/

Назначение:

Нанесение многослойных или многокомпонентных металлических и диэлектрических слоёв, в том числе для формирования наноструктурированных каталитических слоёв (Fe, Ni, Co и других).

Технические характеристики и функциональные параметры:

  • Скорость нанесения
- металлических пленок до 0,5 мкм/мин;
- диэлектрических пленок до 0,2 мкм/мин.

  • Неравномерность пленок по толщине (подложка Ø150 мм) ± 3 %
  • Температура подложек до 300°С


Возврат к списку

X