Главная/Участники/Продукция участников/Автоматизированная установка плазмохимического и ионнохимического травления Caroline PE12

Автоматизированная установка плазмохимического и ионнохимического травления Caroline PE12

Автоматизированная установка плазмохимического и ионнохимического травления Caroline PE12 Производитель: РУ-ВЭМ
Контактное лицо: Суворов Михаил Викторович
Эл. адрес: info@ru-vem.ru
Телефон: (499) 710-60-00, (499) 710-60-11
URI сайта: www.ru-vem.ru

Назначение:

Вакуумно-технологическая установка «CarolinePE12» предназначена для плазмохимического, ионно-химического и ионного травления тонких плёнок в вакууме на любых плоских (толщина не более 30 мм.) подложках Ø до 250 мм. Установки полностью автоматизированного управления с поштучной обработкой пластин. Снабжена генератором плазмы высокой плотности (патент РФ № 2 171 555) со своим ВЧ-генератором возбуждения плазмы (частотой 13,56 МГц) и специальным столом с подачей от независимого генератора ВЧ-смещения для вытягивания и ускорения ионов из плазмы. Для улучшения теплоотвода от подложки предусмотрен так называемый «гелиевый теплоотвод» (дополнительная опция), который подразумевает подачу гелия между подложкой и поверхностью стола, что позволяет поддерживать небольшой перепад температур между поверхностью электрода и подложки.

Технические характеристики и функциональные параметры:

Количество и размер подложек обрабатываемых за 1 цикл, шт.

1 шт. до Ø 250

Стартовое давление в рабочей камере, Па

8х10-4

Расход подаваемых в камеру рабочих газов по одному каналу (л/час)

0÷9

Количество подаваемых (неагрессивных) газов, шт.

до 3

ВЧ мощность, подаваемая на антенну генератора плазмы

100÷900 Вт,

13,56 МГц

Частота напряжения смещения

13,56 МГц

Мощность смешения, подаваемая на столик, Вт

до 900

Равномерность на Ø 150 мм. при травлении SiO2 , %

±3

Предельное остаточное давление в рабочей камере, Па

8х10-4

Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» насоса не более, мин.

120

Габаритные размеры агрегата технологического (ширина × глубина × высота), мм

1450х850х1980

Масса со стойкой питания и управления, кг.

1400

Конкурентные преимущества:

Установка обеспечивает:

  • стабилизацию заданного расхода технологических газов по трем каналам и контроль расхода газа по каждому каналу;
  • автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»;
  • автоматическим согласующим устройством;
  • вакуумная камера установки снабжена прямоугольной дверью для удобства обслуживания.

На установке этого типа были реализованы следующие технологии:

  • травление меди, золота, серебра, платины и многих других материалов ионным распылением;
  • травление кремнийсодержащих слоев (оксиды, нитриды, поликремний, КНС, монокристаллический кремний), кварцевых подложек, пьезокварца со скоростями до 1 мкм/мин. с хорошим качеством поверхности на глубину более 100 мкм.;
  • травление арсенида галлия, нитрида галлия, и других сложных полупроводников;
  • травление любых полимерных слоев;
  • превосходная очистка керамики от любых загрязнений;
  • для электровакуумных приборов обработка в водородной плазме заменяет высокотемпературный водородный отжиг.


Возврат к списку

X