Главная/Участники/Научно-исследовательский институт точного машиностроения (ОАО НИИТМ)

Научно-исследовательский институт точного машиностроения (ОАО НИИТМ)

Научно-исследовательский институт точного машиностроения (ОАО НИИТМ) Директор: Вадим Васильевич Одиноков
Телефон: +7(495) 229-75-01
Эл. адрес: info@niitm.ru
Адрес: Москва, Зеленоград, Панфиловский проспект, 10
URI сайта: www.niitm.ru

Общие сведения:

В настоящее время ОАО НИИТМ является одним из предприятий, которые обеспечивают реализацию бизнес-направления «СИТРОНИКС Микроэлектронные решения», крупнейшей высокотехнологичной компанией в Восточной Европе.

Исследования и разработки (направления НИОКР):

Сегодня ОАО НИИТМ разрабатывает, изготавливает и поставляет ряд технологического оборудования, отвечающего современным требованиям в области технических характеристик, эргономики и дизайна. С использованием нашего оборудования могут быть реализованы следующие технологические направления в различных областях науки и техники: нанесение технологических слоёв и покрытий, осаждение технологических слоёв и покрытий, «сухое» травление слоёв и материалов, окисление и диффузия, гермообработка и отжиг, эпитаксия полупроводниковых слоёв, получение высокочистых материалов. 

Продукция и услуги:

НИИТМ предлагает услуги по разработке широкого спектра исследовательского и промышленного технологического оборудования и осуществляет поставку вакуумно-плазменных и физико-термических установок, а также кластеров на их основе, для реализации технологических процессов нано-, микро- и радиоэлектроники, СВЧ-техники, солнечной энергетики и т.д. 

Создание инновационного оборудования для следующих технологических направлений науки и техники: физическое вакуумное нанесение пленок (PVD); химическое осаждение пленок из газовой среды, травление, плазменная очистка и снятие фоторезиста, термообработка, отжиг, окисление, диффузия и активация примесей; ректификация.

Проекты:
Проект «Антигальваника»

Продукция:
МВУ ТМ Изофаз CVDICP
Магна ТМ – 200 вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических слоёв
МАГНА ТМ – 5 четырехпозиционная вакуумная установка с магнетронными распылительными системами

Возврат к списку

X