В 2016 году курс «Процессы прецизионной фотолитографии» был проведён специалистами одного из крупных микроэлектронных предприятий округа - АО «Ангстрем». Тогда данный курс прошли 15 учащихся Школы 853: все аттестованы и награждены сертификатами, а 5 школьников получили предложение о поступлении в НИУ МИЭТ по целевому набору от предприятия «Ангстрем».
Предприятие АО «Ангстрем» является крупнейшим разработчиком и поставщиком изделий микроэлектроники (интегральных схем, полупроводниковых приборов, приборов микромеханики, оптоэлектроники и прочее) для стратегически значимых систем, например - вооружение и военная техника, космические системы, экономические и государственные структуры и другие . Сохранение традиций и внедрение инноваций – одно из основных задач кадровой политики предприятия. АО «Ангстрем» регулярно проводит и принимает участие в конкурсах для молодежи «От идеи к бизнесу», «Архимед», ярмарке идей «РИТМ Зеленограда», проводит постоянное повышение квалификации рабочих и специалистов.
№ | Содержание курса | Часы | |
лекц. | прак. | ||
1 |
История Компании. |
1 | |
2 | Основы технологии изготовления микросхем | 2 | |
3 | Экскурсия по кристальному производству, знакомство с участками цеха | 2 | |
4 | Основные понятия фотолитографии- послойное формирование топологии схемы | 2 | |
5 | Процессы формирование слоя фоторезиста | 2 | |
6 | Оборудование и материалы, создание рецептов нанесения фоторезистов | 4 | |
7 | Контроль параметров тонких пленок фоторезиста, анализ отклонений | 2 | |
8 | Проекционное оптическое оборудование | 2 | 2 |
9 | Методы аттестации УСЭ | 2 | 2 |
10 | Создание программ мультипликации | 4 | |
11 | Фотошаблоны и экспонирование | 1 | 2 |
12 | Оборудование и материалы, создание рецептов проявления фоторезистов | 2 | |
13 | Оптические микроскопы, контроль размеров топологии, ПД | 1 | 2 |
14 | Контроль ФРМ, анализ отклонений | 1 |
2 |
15 | Зачет |
2 |
|
ИТОГО | 16 | 24 | |
Всего | 40 |