Главная/База НИОКР/Исследование и разработка конструкции рабочей камеры установки атомно-слоевого осаждения нанотолщинных пленочных материалов для формирования пассивирующих и антиотражающих покрытий на рабочих элементах солнечных батарей

Исследование и разработка конструкции рабочей камеры установки атомно-слоевого осаждения нанотолщинных пленочных материалов для формирования пассивирующих и антиотражающих покрытий на рабочих элементах солнечных батарей

X