ПЕРЕДОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ МАССОВОГО ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ

НПП «ЭСТО» (компания-участник ИТК «Зеленоград») разработала масштабированный на 200 мм модуль ПХТ (оксид, нитрид, полимеры, low-k, p-Si, TSV и др.) с перекрытием диапазона всех процессных параметров, недостижимым ни для какой иной промышленной системы на рынке.

Оригинальный плазменный источник является единственным в мире плоским узкозазорным (30-40 мм) генератором технологической индуктивно связанной плазмы (ИСП), известным как «Groovy ICP».

Справочно: обычный индуктивный разряд (ICP = Inductively Coupled Plasma), реализуемый в большом объеме, характеризуется широким диапазоном давления и мощности.  А узость газоразрядного промежутка, то есть минимальный объем типичный для емкостных планарных реакторов (CCP = Capacitively Coupled Plasma), гарантирует наилучший кинетический контроль газового состава вследствие малости времени пребывания газа в плазме.

Уникальным сочетанием свойств «Groovy ICP» является его способность независимо и одновременно задавать как физические, так и химические условия процесса в радиальном направлении. Это единственный в мире промышленный источник, позволяющий одновременно осуществлять локальный контроль плотности плазмы и ее химического состава по радиусу пластины.

Более подробно по ссылке:  http://www.nppesto.ru/about/news/41/