Главная/Участники/Продукция участников/МАГНА ТМ – 5 четырехпозиционная вакуумная установка с магнетронными распылительными системами

МАГНА ТМ – 5 четырехпозиционная вакуумная установка с магнетронными распылительными системами

МАГНА ТМ – 5 четырехпозиционная вакуумная установка с магнетронными распылительными системами Производитель: ОАО «НИИ ТМ»
Контактное лицо: Павлов Георгий Яковлевич
Эл. адрес: info@niitm.ru
Телефон: +7(495) 229-7501
URI сайта: http://www.niitm.ru/technology/infliction/magnetron/details/v/model/magna_tm_5/

Назначение:

Нанесение многослойных металлических пленок на кремниевые пластины методом магнетронного распыления.

Технические характеристики и функциональные параметры:

  • Режим работы автоматический
  • Диаметр обрабатываемых пластин 76, 100, 150 мм
  • Производительность (толщина пленки алюминия 1 мкм) (∅ 76 мм не менее 80 пластин/ч, ∅ 100 мм не менее 60 пластин/ч, ∅ 150 мм не менее 30 пластин/ч)
  • Неравномерность плёнки по толщине ±(3-5)%
  • Предельное остаточное давление в рабочей камере 6,7 × 10–5 Па
  • Число рабочих позиций 4
  • Частота вращения 2-степенного планетарного механизма 30 об/мин
  • Число устройств магнетронного распыления 2
  • Мощность потребления не более 25 кВт
  • Трёхфазная сеть переменного тока с нулевым проводом: 380/220 В; 50 Гц
  • Габаритные размеры 2950 × 2610 × 2025 мм
  • Масса не более 2 350 кг


Возврат к списку

X