МАГНА ТМ – 5 четырехпозиционная вакуумная установка с магнетронными распылительными системами
Производитель:
ОАО «НИИ ТМ»Контактное лицо: Павлов Георгий Яковлевич
Эл. адрес: info@niitm.ru
Телефон: +7(495) 229-7501
URI сайта: http://www.niitm.ru/technology/infliction/magnetron/details/v/model/magna_tm_5/
Назначение:
Нанесение многослойных металлических пленок на кремниевые пластины методом магнетронного распыления.
Технические характеристики и функциональные параметры:
- Режим работы автоматический
- Диаметр обрабатываемых пластин 76, 100, 150 мм
- Производительность (толщина пленки алюминия 1 мкм) (∅ 76 мм не менее 80 пластин/ч, ∅ 100 мм не менее 60 пластин/ч, ∅ 150 мм не менее 30 пластин/ч)
- Неравномерность плёнки по толщине ±(3-5)%
- Предельное остаточное давление в рабочей камере 6,7 × 10–5 Па
- Число рабочих позиций 4
- Частота вращения 2-степенного планетарного механизма 30 об/мин
- Число устройств магнетронного распыления 2
- Мощность потребления не более 25 кВт
- Трёхфазная сеть переменного тока с нулевым проводом: 380/220 В; 50 Гц
- Габаритные размеры 2950 × 2610 × 2025 мм
- Масса не более 2 350 кг