Главная/Участники/Продукция участников/Автоматизированная установка магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления Caroline D12A

Автоматизированная установка магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления Caroline D12A

Автоматизированная установка магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления Caroline D12A Производитель: РУ-ВЭМ
Контактное лицо: Суворов Михаил Викторович
Эл. адрес: info@ru-vem.ru
Телефон: (499) 710-60-00, (499) 710-60-11
URI сайта: www.ru-vem.ru

Назначение:

Вакуумно-технологическая установка «CarolineD12А» предназначена для магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления на керамические, кремниевые, ситаловые и другие плоские (толщина не более 30 мм.) подложки Ø до 100 мм.

Технические характеристики и функциональные параметры:

Мишени на магнетронах располагаются горизонтально. Над ними располагается карусель, вращающаяся в горизонтальной плоскости. На карусели размещены носители, в которых закреплены подложки. Обработка изделий производится в горизонтальной плоскости, материал распыляется с низу вверх.

Установка может быть укомплектована любым набором технологических устройств на пяти рабочих позициях: магнетрон (от 1-го до 5-ти шт.), источник ионов (для предварительной очистки и травления подложек), термический испаритель и устройство ионного распыления (занимает две позиции).

Количество подложек обрабатываемых за 1 цикл

12 шт. Ø100 мм.

24 шт. 60х48 (без переворота)

Предусмотрен визуальный контроль в позициях термических испарителей

Автономное управление заслонками на всех позициях напыления

Расход подаваемых в камеру рабочих газов по каждому каналу, л/час

0 ÷ 9

Количество подаваемых (неагрессивных) газов, шт.

до 3

Количество устройств очистки изделий, шт.

1

Возможна установка термических испарителей, шт.

до 3

Возможна установка магнетронов, шт.

до 5

Тип магнетронов для напыления пленок

Импульсный среднечастотный

Рабочий ток магнетронов регулируемый, А

до 7

Рабочее напряжение магнетронов, В

до 650

Размер мишеней (могут использоваться составные мишени не прямого охлаждения), мм.

Ø100х4÷12

Допустимое давление в камере при работе магнетронов, Па

0,07÷0,3

Предусмотрен вариант напыления на охлаждаемую подложку с подачей смещения 100 КГц, мощность генератора смещения до 1 КВА

опция

Диапазон контроля сопротивления свидетеля, кОм

0,2÷20

Погрешность измерения сопротивления, %

±1

Предусмотрен вариант установки кварцевого измерителя толщины в любой позиции напыления

опция

Рекомендуемая температура нагрева подложек, °С (max 300°С)

50÷250

Нестабильность температуры подложек, %

±5

Предельное остаточное давление в рабочей камере, Па

8х10-4

Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин.

120

Габаритные размеры агрегата технологического «Caroline D12A» (ширина × глубина × высота) с открытой крышкой, мм.

1315×1430×2100

Масса со стойкой питания и управления, кг.

до 1850


Возврат к списку

X