Главная/Участники/Продукция участников/Автоматизированная установка ионно-лучевого травления Caroline IE12

Автоматизированная установка ионно-лучевого травления Caroline IE12

Автоматизированная установка ионно-лучевого травления Caroline IE12 Производитель: РУ-ВЭМ
Контактное лицо: Суворов Михаил Викторович
Эл. адрес: info@ru-vem.ru
Телефон: (499) 710-60-00, (499) 710-60-11
URI сайта: www.ru-vem.ru

Назначение:

Вакуумно-технологическая установка «CarolineIE12» предназначена для травления тонких слоев резистивных сплавов, металлов и диэлектриков на любых плоских (толщина не более 30 мм.) подложках размером до Ø 150 мм. (максимальная плоскость обрабатываемых деталей 150х320 мм.). Установка имеет два вертикально установленных протяженных ионных источника с размером ионного луча по вертикали 350 мм. Травление может производиться через фоторезистивную или металлическую маску.

Технические характеристики и функциональные параметры:

Количество и размер подложек обрабатываемых за 1 цикл, шт.

42шт. Ø100 мм. 112 шт. 60х48 мм.

Расход подаваемых в камеру рабочих газов по одному каналу, л/час

0÷9

Количество подаваемых (неагрессивных) газов, шт.

2 (4-опция)

Количество ионных источников, шт.

2

Ток ионного источника (регулируется расходом газа), мА

до 500

Напряжение блока питания, КВА

1÷3

Допустима работа источников ионов на смеси газов

Допустимое давление в камере при работе ионных источников, Па

до 0,3

Предельное остаточное давление в рабочей камере, Па

8х10-4

Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин.

120

Габаритные размеры агрегата технологического /ширина × глубина × высота/, мм.

1322х850х1800


Конкурентные преимущества:

Установка обеспечивает также:

  • стабилизацию заданного расхода технологических газов по двум каналам и контроль расхода газа по каждому каналу;
  • вертикальное расположение ионных источников;
  • вертикальное размещение изделий (подложек) на вращающемся барабане;
  • автоматическое выполнение программ «от загрузки до разгрузки»;
  • автоматическое окончание травления пленок по заданному времени;
  • размещение изделий на легко снимаемых с барабана носителях с целью сокращения времени загрузки и выгрузки;
  • вакуумная камера установки снабжена прямоугольной дверью большого размера для удобства обслуживания;
  • в стандартной комплектации в установке в качестве высоковакуумного насоса используется криогенный насос, который может быть заменен на турбомолекулярный или паромасляный насос (опция);

На установке этого типа были реализованы следующие технологии:

  • травление резистивных пленок из материалов типа РС – 3710; РС – 5406; РС-1004;
  • травление пленок титана и тантала, их оксидов и нитридов;
  • травление металла, в том числе золота или меди;
  • травление двуокиси кремния и нитрида кремния;
  • травление диэлектрических слоёв;
  • травление любых материалов распылением ионами аргона.


Возврат к списку

X