Главная/Участники/Продукция участников/ Автоматизированная установка двустороннего магнетронного напыления Caroline D12B3

Автоматизированная установка двустороннего магнетронного напыления Caroline D12B3

 Автоматизированная установка двустороннего магнетронного напыления Caroline D12B3 Производитель: ООО «РУ-ВЭМ»
Контактное лицо: Суворов Михаил Викторович
Эл. адрес: info@ru-vem.ru
Телефон: (499) 710-60-00, (499) 710-60-11
URI сайта: www.ru-vem.ru

Назначение:

Вакуумно-технологическая установка «Caroline D12В3» предназначена для двустороннего магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские (толщина не более 30 мм.) подложки размером до Ø 150 мм. (максимальная плоскость обрабатываемых изделий 150х350 мм.).

Технические характеристики и функциональные параметры:

Установка оборудована сложной дверью, на которой располагаются два нагревателя и ионный источник. Соответственно, установка комплектуется четырьмя парами магнетронов. Магнетроны располагаются внутри барабана - 4 шт. и снаружи 4 шт. в специальных дверях. Таким образом, напыление ведётся вертикально, нанося материал на внешнюю и внутреннюю стороны носителей вращающихся на барабане.

Установка комплектуется магнетронами для распыления любых материалов, например, резистивные сплавы Cu, Cr, Ni, Al и т.п.

Технические характеристики

Количество подложек обрабатываемых за 1 цикл

· при двусторонней загрузке

· при односторонней загрузке

70шт. 60х48;

48 шт. Ø100 мм,

28 шт. Ø 150мм,

111 шт. 60х48 мм

Автономное управление заслонками на позициях напыления (одновременно могут быть открыты пары магнетронов в позициях 1 и 3 либо в позициях 2 и 4)

Расход подаваемых в камеру рабочих газов по одному каналу (л/час)

0÷9

Количество подаваемых (неагрессивных) газов, шт.

до 3

Количество устройств очистки изделий, шт.

2

Допустима работа источника ионов совместно с магнетроном на смеси газов

Возможна установка магнетронов, шт.

до 8

Тип магнетронов для напыления пленок

Импульсный среднечастотный

Рабочий ток магнетронов регулируемый, А

0,5÷15 (30-опция)

Рабочее напряжение магнетронов, В

до 650

Размер мишеней (могут использоваться составные мишени не прямого охлаждения), мм.

440х100х6÷15

Допустимое давление в камере при работе магнетронов, Па

0,07÷0,3

Диапазон контроля сопротивления свидетеля, кОм

0,2÷20

Погрешность измерения сопротивления, %

±1

Рекомендуемая температура нагрева подложек, °С (макс. 300°С)

50÷250

Нестабильность температуры подложек, %

±5

Предельное остаточное давление в рабочей камере, Па

8х10-4

Время подготовки установки к работе с учетом «разгона» крионасоса не более, мин.

120

Габаритные размеры агрегата технологического /ширина × глубина × высота/ с поднятой камерой, мм.

1750×2000×2980

Масса со стойкой питания и управления, кг.

до 2300


Возврат к списку

X